自動(dòng)AI晶圓邊緣檢測(cè)：

批量邊緣檢查

安裝在批次ID閱讀器周?chē)腃ognex InSight ViDi D905相機(jī)

真正的邊緣檢查，可選正面和背面檢查

前后攝像頭可配置為在誤處理后檢測(cè)“CMP環(huán)"

1分鐘完成邊緣檢查周期

按插槽號(hào)劃分的通過(guò)/失敗結(jié)果——SECS/GEM連接

自動(dòng)AI晶圓邊緣檢測(cè)最小缺陷尺寸>1.2mm

科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理?？祁９疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國(guó)用戶提供儀器、設(shè)備，周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó)，納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開(kāi)發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域，都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代，我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄海?jiàn)證中國(guó)科技水平的提升，與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。