多高度探針用于測(cè)量各種材料和樣品尺寸。由25厘米寬、29厘米深、0.8厘米厚的硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁底座組成。一根直徑為19mm、高度為20cm的不銹鋼柱（用螺絲固定在底座上）支撐探頭的升降機(jī)構(gòu)，包括垂直滑動(dòng)、操作桿軸和微型開(kāi)關(guān)。垂直滑動(dòng)帶著探頭，由夾緊螺釘固定。探針頭的位置應(yīng)確保在探針接觸之前，微動(dòng)開(kāi)關(guān)不會(huì)通過(guò)電流。丟失動(dòng)作確保在探頭升起之前切斷電流。探針臂可以很容易地定位在垂直軸上的不同高度，以允許對(duì)扁平材料或大或厚材料進(jìn)行探測(cè)。例如，可以將熱夾頭或含有l(wèi)n2的淺盤放置在底板上，并且可以將臂放置在允許將探針降低到浸沒(méi)在液氮中或放置在加熱階段的樣品上的位置。多高度探針可用于測(cè)量10〃x 10〃以下的晶片或更大的材料（或具有相同價(jià)格的12〃x 12〃工作區(qū)）、鋼錠和高達(dá)6〃的材料。更長(zhǎng)的柱選項(xiàng)允許測(cè)量更高的材料。多高度探頭包括一個(gè)圓柱形探頭頭。

圓柱形探頭

圓柱形探頭，其中一個(gè)與多高度探頭一起提供，在標(biāo)準(zhǔn)配置下，可承受77K至120C的溫度。對(duì)圓柱形探頭的修改將使其能夠承受77K至200C的溫度（在烤箱中）。多高度探頭保守地限制在80攝氏度，但是，如果采取了某些預(yù)防措施，使用熱板可使溫度達(dá)到300攝氏度。圓柱探頭的質(zhì)量和精度都達(dá)到了很高的標(biāo)準(zhǔn)。

控制器是專門為四點(diǎn)探針測(cè)量而設(shè)計(jì)的一種專用電子儀器。它具有精度高、范圍廣和許多簡(jiǎn)化四點(diǎn)探測(cè)測(cè)量的特點(diǎn)。以下是該試驗(yàn)裝置的特點(diǎn)：

控制器的面電阻范圍為1毫歐/平方（10^-3）到5 x 10^8歐姆/平方，精度為0.3%。體積電阻率范圍是從1毫歐姆厘米（10^-3）到10^6歐姆厘米，然而，該電阻率范圍是指直接測(cè)量大塊材料，而不是測(cè)量薄膜并使用軟件轉(zhuǎn)換為體積電阻率。例如，可以測(cè)量厚度達(dá)16微米的薄層銅（1.68 x 10^-6 ohm-cm）。如果進(jìn)入膜厚，控制器可以確定體積電阻率值。

控制器包括PC控制軟件，可用于測(cè)量記錄（以csv格式存儲(chǔ)數(shù)據(jù)），并可將測(cè)量值保存為板電阻或體積電阻率。

顯示器讀取輸入電流以及每平方歐姆（片電阻）、歐姆厘米（體積電阻）或毫伏，無(wú)需使用隨附的PC軟件。體積電阻率讀數(shù)需要輸入晶片或薄膜的厚度，或者如果測(cè)量大塊樣品，則需要輸入間距。

控制器具有板載非易失性存儲(chǔ)器，因此可以在內(nèi)部存儲(chǔ)多達(dá)50個(gè)測(cè)量值，然后使用軟件一次下載并保存所有測(cè)量值?；蛘?，每個(gè)測(cè)量值都可以保存到PC上，因?yàn)樗鞘褂秒S附的軟件進(jìn)行的。

控制器有一個(gè)自動(dòng)范圍按鈕，可用于自動(dòng)確定給定材料的優(yōu)良輸入電流，而無(wú)需使用試錯(cuò)法。

并具有前進(jìn)（FWD）和后退（REV）按鈕，可反轉(zhuǎn)電流方向。確定測(cè)量值是否有效的一種常見(jiàn)方法是反轉(zhuǎn)電流方向，然后檢查正向和反向電壓讀數(shù)是否關(guān)聯(lián)良好，即，數(shù)值應(yīng)相似，但反向電流電壓為負(fù)值。

允許輸入需要根據(jù)尺寸校正的樣本的校正系數(shù)。

具有日期和時(shí)間戳功能

與可選的AFPP電動(dòng)Z運(yùn)動(dòng)臂連接

電流源

10na至100ma（99.999ma）電流源可選輸入

可調(diào)節(jié)高度四點(diǎn)探針

多高度探針用于測(cè)量各種材料和樣品尺寸。由25厘米寬、29厘米深、0.8厘米厚的硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁底座組成。一根直徑為19mm、高度為20cm的不銹鋼柱（用螺絲固定在底座上）支撐探頭的升降機(jī)構(gòu)，包括垂直滑動(dòng)、操作桿軸和微型開(kāi)關(guān)。垂直滑動(dòng)帶著探頭，由夾緊螺釘固定。探針頭的位置應(yīng)確保在探針接觸之前，微動(dòng)開(kāi)關(guān)不會(huì)通過(guò)電流。丟失動(dòng)作確保在探頭升起之前切斷電流。探針臂可以很容易地定位在垂直軸上的不同高度，以允許對(duì)扁平材料或大或厚材料進(jìn)行探測(cè)。例如，可以將熱夾頭或含有l(wèi)n2的淺盤放置在底板上，并且可以將臂放置在允許將探針降低到浸沒(méi)在液氮中或放置在加熱階段的樣品上的位置。多高度探針可用于測(cè)量10〃x 10〃以下的晶片或更大的材料（或具有相同價(jià)格的12〃x 12〃工作區(qū)）、鋼錠和高達(dá)6〃的材料。更長(zhǎng)的柱選項(xiàng)允許測(cè)量更高的材料。多高度探頭包括一個(gè)圓柱形探頭頭。

圓柱形探頭

圓柱形探頭，其中一個(gè)與多高度探頭一起提供，在標(biāo)準(zhǔn)配置下，可承受77K至120C的溫度。對(duì)圓柱形探頭的修改將使其能夠承受77K至200C的溫度（在烤箱中）。多高度探頭保守地限制在80攝氏度，但是，如果采取了某些預(yù)防措施，使用熱板可使溫度達(dá)到300攝氏度。圓柱探頭的質(zhì)量和精度都達(dá)到了很高的標(biāo)準(zhǔn)。

控制器是專門為四點(diǎn) 探針測(cè)量而設(shè)計(jì)的一種專用電子儀器。它具有精度高、范圍廣和許多簡(jiǎn)化四點(diǎn)探測(cè)測(cè)量的特點(diǎn)。以下是該試驗(yàn)裝置的特點(diǎn)：

控制器的面電阻范圍為1毫歐/平方（10^-3）到5 x 10^8歐姆/平方，精度為0.3%。體積電阻率范圍是從1毫歐姆厘米（10^-3）到10^6歐姆厘米，然而，該電阻率范圍是指直接測(cè)量大塊材料，而不是測(cè)量薄膜并使用軟件轉(zhuǎn)換為體積電阻率。例如，可以測(cè)量厚度達(dá)16微米的薄層銅（1.68 x 10^-6 ohm-cm）。如果進(jìn)入膜厚，控制器可以確定體積電阻率值。

控制器包括PC控制軟件，可用于測(cè)量記錄（以csv格式存儲(chǔ)數(shù)據(jù)），并可將測(cè)量值保存為板電阻或體積電阻率。

顯示器讀取輸入電流以及每平方歐姆（片電阻）、歐姆厘米（體積電阻）或毫伏，無(wú)需使用隨附的PC軟件。體積電阻率讀數(shù)需要輸入晶片或薄膜的厚度，或者如果測(cè)量大塊樣品，則需要輸入間距。

控制器具有板載非易失性存儲(chǔ)器，因此可以在內(nèi)部存儲(chǔ)多達(dá)50個(gè)測(cè)量值，然后使用軟件一次下載并保存所有測(cè)量值?；蛘撸總€(gè)測(cè)量值都可以保存到PC上，因?yàn)樗鞘褂秒S附的軟件進(jìn)行的。

控制器有一個(gè)自動(dòng)范圍按鈕，可用于自動(dòng)確定給定材料的優(yōu)良輸入電流，而無(wú)需使用試錯(cuò)法。

并具有前進(jìn)（FWD）和后退（REV）按鈕，可反轉(zhuǎn)電流方向。確定測(cè)量值是否有效的一種常見(jiàn)方法是反轉(zhuǎn)電流方向，然后檢查正向和反向電壓讀數(shù)是否關(guān)聯(lián)良好，即，數(shù)值應(yīng)相似，但反向電流電壓為負(fù)值。

允許輸入需要根據(jù)尺寸校正的樣本的校正系數(shù)。

具有日期和時(shí)間戳功能

與可選的AFPP電動(dòng)Z運(yùn)動(dòng)臂連接

電流源

10na至100ma（99.999ma）電流源可選輸入